第325章 周平的狡辩[2/2页]
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部的经理王景龙和周平在进门之前,也只以为张晓寒要找他们讨论那两台euv光刻机装机的问题的。
可是在进门后,周平抬眼看到陈彦霖也在办公室的时候,瞬间就有了一种不好的预感。
果然,在他们一落座之后,张晓寒就直接开口问道:“现场把光刻机借给厂商测试的事,你们知不知道?”
王景龙闻言一脸诧异地看向了张晓寒,而后又看向周平,皱着眉头问道:“什么时候的事?怎么没人找我签这个申请手续?”
因为制造部的事情比较杂,下面的生产人员众多,沟通起来也比较麻烦。
所以搞生产的人,大部分都脾气不太好,而王景龙更是其中的典型代表。
可能是王景龙积威甚久的原因,此刻他仅仅只是皱了皱眉头,周平就紧张了起来。
周平仅是思索了一两秒,就矢口否认道:“我们没有借设备给厂商测试,而是在生产的时候出了一点小故障,正好厂商在现场,就请他们帮我们看一下而已。”
张晓寒闻言挑了挑眉问道:“是吗?什么故障?”
“就是在生产的时候,两片晶圆之间会卡顿一下
“另一台不卡顿?”张晓寒继续问道。
“也卡顿,但是我以前公司里的光刻机是不卡顿的,所以我就想请他们帮忙看一下设备卡顿的原因。”
周平说完,又一脸无私地继续说道:“如果他们能把这个卡顿的问题解决了的话,那这就可以大幅度地提高我们的产能了。我觉得这对公司是一件百利无害的事情。”
张晓寒看着周平说得信誓旦旦的模样,很是无语地抿了抿嘴巴。
要不是张晓寒有着十多年的设备生产经验,可能就真的被他蒙住了。
虽然张晓寒没见过其他的光刻机是如何工作的,但是张晓寒知道厂里这两台光刻机的传动系统是没有问题的。
周平所谓的两片晶圆生产之间存在的卡顿现象的原因,并不是真实的卡顿,而是因为asnml公司的光刻机的晶圆传送模组采用的是双平台模组的设置。
而晶圆被机械手臂从传送模组,吸取到平台模组之后,虽然每次放置的位置误差都是纳米级的,但是为了保证精准度,在光刻机曝光的之前,它的机械系统会先进行晶圆的精确定位。
这个过程也就零点几秒的时间,正常都是忽略不计的。
而且这是这个设计的光刻机存在的普遍性问题,根本就不可能只有龙芯芯片公司的这两台有这个问题。
周平作为一个在芯片光刻工序干了十几年的人,不可能连这个都不知道。
但是此刻周平拿这个出来说事,显然是准备问题往自己的主观意识方向引。
哪怕最后张晓寒找出来大量的证据,告诉他,所有的光刻机都是这个情况的时候,他也能以自己的错觉,或误会来解释......
所以张晓寒并不打算和他在这个问题上纠缠,而是继续问道:“所以你就拿我们正常批次的晶圆给他们做实验了?”
第325章 周平的狡辩[2/2页]
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